부산대, 최첨단 나노분석 시스템 동시 구축...54억 투입

시편 제작부터 원자 분석까지 원스톱
반도체·에너지 소재 연구 핵심 거점

부산대 수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM)./부산대 제공

부산대학교가 원자 단위까지 식별 가능한 최첨단 나노분석 장비를 동시에 도입하며, 차세대 반도체와 에너지 소재 등 첨단 기술 분야의 산학연 공동연구 허브로 도약한다.

부산대학교는 교육부 지원과 대학 자체 예산 등 총 54억 7500만 원을 투입해 수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM)과 고분해능 집속이온빔(HR-FIB) 시스템을 구축 완료했다고 12일 밝혔다.

이번 장비 도입으로 부산대는 시편의 가공부터 통합 분석까지 전 과정을 한 곳에서 진행할 수 있는 국내 최고 수준의 나노분석 플랫폼을 갖추게 됐다.

새롭게 도입된 '수차보정 투과전자현미경'은 단일 원자 해상도로 물질의 구조와 전자 상태를 정밀하게 분석할 수 있는 장비다.



함께 구축된 '고분해능 집속이온빔'은 나노 단위의 시편 제작을 지원해 반도체 불량 분석이나 차세대 배터리 전극 계면 분석 등 산업계의 극미세 분석 수요에 즉각 대응할 수 있도록 돕는다.

특히 부산대는 장비의 성능을 극대화하기 위해 분석실 설계에도 공을 들였다. 전자파 간섭을 차단하는 퍼몰로이 차폐층 시공과 정전기 방지 전도성 타일 설치는 물론, 진동과 온·습도까지 완벽히 제어하는 전용 공간을 마련해 안정적인 원자 단위 분석 환경을 조성했다.

이 최첨단 장비들은 향후 단일원자 촉매, 고체 전해질 배터리, 차세대 반도체 등 미래 산업의 핵심 연구 분야에 활용될 예정이다.

부산대는 이를 바탕으로 전문적인 분석 서비스와 교육 프로그램을 운영하며 글로벌 첨단소재 연구의 거점 역할을 수행할 계획이다.

부산=김성욱 기자 attainuk0518@