무궁무진한 플라즈마 세계 … 특허출원도 봇물

특허청 5년사이 특허출원 급증

환경, 식품, 바이오 미용분야로 활용 기대

형광등, 네온사인, 디스플레이, 반도체… 태양에너지, 핵융합에너지인 플라즈마가 다양한 분야로 응용되고 있다.

플라즈마 출원은 2012년 15건에서 2016년 165건으로 급증하며 최근 5년 사이 가장 핫한 에너지원으로 각광받고 있다.

특허청에 따르면 플라즈마 출원은 2014년 3건에서 2016년 108건으로 매년 60% 이상의 증가세를 보이고 있다. 반도체 생산을 위한 반도체 표면 공정은 최근 5년간 플라즈마 출원 기술의 72%를 차지하고 있다.

플라즈마는 고체 상태의 물질이 에너지를 받으면 액체로 그리고 다시 기체로 변화해 기체에 더 큰 에너지를 가하면 원자핵과 전자로 나뉘어져 이온화된 상태가 되는 것을 말한다.

결국 플라즈마는 전기적 성질을 띤 전자, 이온 그리고 중성 입자로 구성돼 있어 전기장과 자기장에 의한 제어가 가능하기 때문에 다양한 분야에 응용될 수 있다. 대량 처리가 가능하고 공해유발없는 환경 친화적인 기술이는 장점은 반도체 고밀도 직접회로 등 정밀한 제조공정과 디스플레이, 플라즈마 표면처리를 거친 유리창, 섬유 등 산업 공정 곳곳에서 우리 생활을 변화시키고 있다.

특허청은 “향후 살균과 상처 치료에 적용이 가능하고 환경, 식품, 바이오, 의료, 미용분야 등 폭넓은 분야에서 활용이 증가할 것으로 기대된다”고 말했다. 이해미 기자 ham7239@