KRISS 김창수 박사, 중소기업에 신기술 전파

면방위 측정기술 CRM, 오차 없앤 신기술로 반도체 품질 향상

▲ KRISS 신기능재료표준센터 김창수 박사가 산업체에 제공하는 면방위 인증표준물질(CRM)을 선보이고 있다.

한국표준과학연구원 김창수 박사(UST 겸임교수·사진)팀이 개발한 반도체 공정의 중요 기술이 관련 중소기업체의 경쟁력을 높이고 있다.

23일 한국표준과학연구원(원장 강대임·KRISS)에 따르면 김창수 박사팀이 지난해 9월 반도체의 품질을 좌우할 수 있는 면방위 측정기술 개발이후 인증표준물질(CRM)제공 및 비교시험 등을 통해 산업체에 전파하고 있다. 인증표준물질(Certified Reference Material·CRM)은 각 산업체에서 보유하고 있는 장비 등의 수치를 정확한 데이터 값으로 교정하기 위해 KRISS에서 배포하는 물질.

적외선 LED용 기판 제조업체인 ㈜프라우텍은 KRISS로부터 불확도 ±0.003°정밀도의 세계 최고 수준의 면방위 인증표준물질을 제공받아 제품 품질력을 향상시키고 있다. 또한 KRISS는 한솔테크닉스, 일진디스플레이, 사파이어테크놀로지 등의 LED용 사파이어 기판 제조업체와 면방위 측정 상호 비교시험 수행 및 기준값 제공으로 관련 제조업체들이 보다 높은 정밀도의 제품을 생산하고 있다.

면방위 측정기술이란 반도체나 LED 등에 사용되는 단결정 웨이퍼(기판)의 표면각도를 측정하는 기술로서 면방위 크기에 따라 제조된 소자의 특성 및 구조결함 등이 결정, 이에 대한 정확한 측정이 반드시 필요하다.

김창수 박사팀이 개발한 측정법은 기존 장비의 회전축 편심에 의한 오차를 자체적으로 없앨 수 있는 신기술로 이전보다 10배 이상 높은 정확도를 가지고 있다.

김창수 박사팀은 앞으로 국내 여러 단결정 산업의 국제 경쟁력 확보 및 수출 향상을 위해 다양한 종류의 면방위 CRM을 제공할 예정이며 나아가 현재의 측정기술을 산업현장에서 보다 쉽게 이용할 수 있고 정밀도가 높은 새로운 면방위 측정표준안으로 발전시킬 계획이다.

배문숙 기자