JSR마이크로코리아㈜, 충북 오창에 차세대 반도체 소재 생산공장 준공

세계 최초 EUV용 MOR(금속 산화물 포토레지스트) 생산거점 구축
충북 반도체 소부장(소재·부품·장비) 경쟁력 및 국산 공급망 대폭 강화

충청북도와 청주시가 세계적 반도체 소재 기업인 일본 JSR㈜의 차세대 반도체 핵심 소재 생산거점을 품으며 글로벌 반도체 소부장 클러스터로서의 입지를 한층 더 강화했다.

충북도는 30일 오전 11시 청주시 오창 외국인투자지역에서 일본계 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아㈜의 차세대 반도체 소재 생산공장 준공식이 성황리에 개최됐다고 밝혔다.

이날 준공식에는 신용한 충북지사, 신병대 청주시 부시장, 호리 테츠로 JSR㈜ 대표, 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아㈜ 대표 등 한·일 양국의 주요 관계자들이 대거 참석한 가운데 축하공연, 기념사, 축사, 기념 퍼포먼스 등의 순서로 진행됐다.

2003년 청주 오창에 설립된 JSR마이크로코리아㈜는 JSR㈜의 한국법인으로 그동안 디스플레이 소재 사업을 이어왔다. 이번 공장 신설을 통해 반도체 차세대 극자외선(EUV)용 포토레지스트 소재인 MOR(Metal Oxide Resist, 금속 산화물 포토레지스트)의 국내 생산 체계를 전격 구축하게 됐다.

MOR은 EUV 노광공정에서 웨이퍼 위에 미세한 회로 패턴을 그려 넣는 데 쓰이는 차세대 포토레지스트다. 기존 유기물 기반 소재 대비 높은 EUV 흡수 특성을 지녀 반도체 초미세화 한계를 극복할 핵심 소재로 큰 주목을 받고 있다.

특히 이번 오창 공장은 모기업인 JSR㈜이 세계 최초로 구축하는 EUV용 MOR 전문 생산거점이라는 점에서 의미가 깊다. JSR㈜은 지난 2021년 미국 Inpria사를 인수한 이후 MOR의 사업화를 추진해 왔다. 오창 공장에서 MOR의 최종 생산공정을 전담하게 된다.

JSR㈜은 오창 생산거점 가동을 통해 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 고객사의 수요에 신속하게 대응하고, 현지 생산 및 품질보증(QA) 역량을 대폭 강화할 계획이다.

신용한 충북지사는 축사를 통해 "세계적인 반도체 소재기업 JSR㈜의 차세대 EUV용 MOR 생산공장이 오창에 준공된 것은 충북이 글로벌 반도체 소재 공급망의 전략 거점으로 확실히 자리매김하는 또 하나의 이정표"라며 "충북과 오랜 기간 함께해 온 JSR마이크로코리아㈜가 이곳을 발판 삼아 세계 최고의 반도체 소재기업으로 성장하고, 대한민국 반도체 산업의 새로운 미래를 밝혀 나가길 기대한다"라고 말했다.

충북은 SK하이닉스를 비롯한 반도체 제조 대기업과 다수의 소재·부품·장비 기업이 집적된 대한민국 대표 반도체 산업의 요충지다. 이번 JSR마이크로코리아㈜의 차세대 생산공장 준공을 계기로 반도체 초미세공정용 핵심 소재의 국산화 및 안정적 공급망 구축에 가속도가 붙을 것으로 기대된다.

한편, JSR마이크로코리아㈜의 모기업인 JSR㈜은 1957년 설립된 일본의 대표 글로벌 소재기업으로, 포토레지스트 등 반도체 및 디스플레이 소재 분야에서 세계 최고 수준의 기술력과 시장 점유율을 보유하고 있다.
청주=엄재천 기자