KAIST 3차원 포토리소그래피 기술 개발

  • 경제/과학
  • 대덕특구

KAIST 3차원 포토리소그래피 기술 개발

미세패턴 다양 대량생산 가능

  • 승인 2015-03-25 18:08
  • 신문게재 2015-03-26 4면
  • 이영록 기자이영록 기자
한국과학기술원(KAIST)은 김신현(생명화학공학과) 교수 연구팀이 3차원 형상을 구현할 수 있는 포토리소그래피 공정기술을 개발했다고 26일 밝혔다.

기존의 포토리소그래피 공정은 수직 방향으로 내리쬐는 자외선 특성상 빛의 노출 방향에 따라 형성되는 미세패턴이 2차원으로만 제조되는 한계가 있었지만 김 교수 연구팀은 산소의 확산 원리를 이용, 3차원 형상을 구현하는 데 성공했다. 연구팀은 일반적으로 빛을 이용한 중합반응에서 산소가 물질의 경화 작용을 방해하는 특성이 있는데 이를 역이용했다.

일부 영역에만 자외선을 노출시키면 해당 영역의 산소 농도가 감소하고 다른 영역은 유지돼 농도의 차이로 자외선이 노출된 영역으로 산소의 확산 현상이 발생하게 된다.

기존에는 같은 속도로 발생한 경화 작용이 시간차를 두고 이뤄지는 것이다.

따라서 미세패턴의 모양도 다양해지고 확산 방향과 속도를 의도적으로 조절함으로써 3차원 형상의 패턴 제작이 가능해지는 원리다.

연구팀은 이 기술을 연속적으로 융합해 사용하면 더 복잡한 형상과 다양한 성분으로 구성할 수 있다는 것도 확인했다. 자성 입자를 넣어 자기장을 이용한 의료용 패치 제작뿐 아니라 온도에 따라 팽창하고 수축하는 젤을 넣으면 곡면 형태의 필름 제작도 가능하다.

연구팀은 디스플레이 소자를 포함한 다양한 전자기기의 광학소자, 패치형 역물 전달체, 물과 기름에 젖지 않는 표면 등 3차원 미세패턴과 미세입자 연구를 통해 구현 가능한 기술들의 상용화를 기대하고 있다.

김 교수는 “혁신적인 3D 프린팅 기술은 미세형상 제어와 대량생산이 어렵지만 이 기술은 3차원 미세패턴을 대량 생산할 수 있다”며 “대부분 학계와 산업계에서 포토리소그래피 장비를 사용하는 만큼 파급 효과가 클 것”이라고 말했다.

한편 이번 연구결과는 네이처 커뮤니케이션즈 온라인판에 게재됐으며 연구팀은 2013년 불의의 사고로 고인이 된 콜로이드 및 유체역학 분야의 대가인 故 양승만(전 KAIST 생명화학공학과) 교수에게 헌정했다.

이영록 기자 idolnamba2002@

중도일보(www.joongdo.co.kr), 무단전재 및 수집, 재배포 금지

기자의 다른기사 보기

랭킹뉴스

  1. 2030년 행정수도 거점의 광역교통망 촘촘히 구축
  2. 가을을 재촉하는 비
  3. 중장년층 새로운 일자리 '산림복지'에서 찾다
  4. (사)한국스마트혁신기업가협회, 오석진 대전교육감 초청 8월 정기모임 개최
  5. 세종교육청의 뜻깊은 하루… '퇴직·신규 교직원' 예우와 '헌혈' 동참
  1. 서산 동문동 도시재생, '주민이 운영하는 주차장' 첫걸음, 선진지 견학 운영 역량 제고
  2. 기나긴 공방 끝, 지천댐 건설 동력 확보… 기후부, 충청권 메가프로젝트 용수 수요에 '다목적댐' 추진
  3. 교육비 격차 벌어졌는데 장학금은 평균 웃돌아… 대전 대학 엇갈린 지표
  4. 대전 판암동 아파트 14층서 불… 1명 연기흡입·30명 대피
  5. 세종환경교육센터의 독창적 교구 눈길… 전국 벤치마킹 모델 주목

헤드라인 뉴스


아산시 주요 도로 확충사업, 기재부 예비타당성조사 최종 통과

아산시 주요 도로 확충사업, 기재부 예비타당성조사 최종 통과

아산시의 숙원인 주요 도로 확충 사업이 28일 기획재정부 제7차 재정투자평가위원회에서 확정한 '제6차 국도·국지도 건설계획' 일괄 예비타당성조사(예타)를 최종 통과했다. 대상 사업은 국도 45호선 둔포~평택 팽성 구간 6차로 확장(3.8㎞·806억원)과 국지도 70호선 염치~음봉 구간 4차로 신설(4.8㎞·1713억원)사업으로, 총연장은 8.6㎞, 총사업비는 2519억원이다. 이번 2개 도로구간 확장 및 신설 사업이 본궤도에 오르면서 광역교통 여건 개선과 지역 간 연결성 강화에 속도가 붙을 전망이다. 아산과 평택을 연결하는 주요 간..

담배꽁초 하나에 유성 카센터 2억 화재… 항소심도 벌금 500만원
담배꽁초 하나에 유성 카센터 2억 화재… 항소심도 벌금 500만원

담배꽁초를 제대로 끄지 않은 채 버려 2억 원이 넘는 화재 피해를 낸 남성이 항소심에서도 벌금형을 선고받았다. 28일 법조계에 따르면 대전지법 제2-2형사부는 실화 혐의로 기소된 A 씨의 항소를 기각하고 벌금 500만 원을 선고한 원심을 유지했다. A 씨는 2025년 3월 23일 낮 12시 13분께 대전 유성구의 한 카센터 앞에서 담배를 피운 뒤 담배꽁초를 바닥에 버린 혐의로 재판에 넘겨졌다. A 씨가 현장을 떠난 뒤 약 4분 만에 카센터 건물 외벽에서 불이 났고, 외벽과 천장 등이 타면서 수리비 약 2억 1125만 원 상당의 피해..

실시간 뉴스

지난 기획시리즈

  • 정치

  • 경제

  • 사회

  • 문화

  • 오피니언

  • 사람들

  • 기획연재

포토뉴스

  • 제17회 대전시 동구청장배 전국풋살대회 여자부 8강 제17회 대전시 동구청장배 전국풋살대회 여자부 8강

  • 제17회 대전시 동구청장배 전국풋살대회 초등 3~4학년부 4강전 제17회 대전시 동구청장배 전국풋살대회 초등 3~4학년부 4강전

  • 제17회 대전시 동구청장배 전국풋살대회 초등 5~6학년부 예선 제17회 대전시 동구청장배 전국풋살대회 초등 5~6학년부 예선

  • 가을을 재촉하는 비 가을을 재촉하는 비