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| 연구팀이 개발한 반도체 웨이퍼 이송장비용 2D 라이다 센서가 반도체 웨이퍼 이송장비(OHT)에 부착된 모습. 2D 라이다 센서는 자율주행 시스템의 눈에 해당하는 핵심부품으로 주변 환경을 입체적으로 인지해 장애물인지, 충돌회피 등에 활용된다. |
정부 출연연과 국내 기업이 그동안 전량 수입에 의존했던 반도체용 웨이퍼 이송 장비 탑재용 2D 라이더 센서를 국산화하고 대량 생산을 위한 양산 기술을 확보했다.
17일 한국기계연구원(이하 기계연)에 따르면 국내 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩과 함께 반도체 생산 공정에 필요한 라이더 센서를 개발했다.
정교한 작업이 필요한 반도체산업 특성상 웨이퍼를 공장 천장에 설치된 레일을 따라 이동하는 자율주행 시스템이 적용되는데 이 시스템의 핵심이 라이다 센서다. 자율주행 시스템에서 사람의 눈에 해당하는 부품으로 주변 환경을 파악해 장애물 등을 피하고 생산자가 원하는 공정을 처리한다. 그동안 일본과 독일에서 전량 수입에 의존했지만 이번 자체 기술 개발에 성공해 국내 산업 경쟁력을 확보하게 됐다.
기계연 인공지능기계연구실 하창완 선임연구원과 에승에스랩·수요기업 세메스는 지속적인 협력을 통해 현장에 필요한 맞춤형 제품을 개발했다. 연구팀은 양산성을 고려한 제품 최적화와 광 정렬 개선을 통해 라이다 센서의 핵심인 측정분해능과 정확도를 제고했다. 또 제품 조립 후 수작업으로 이뤄지던 보정과 성능평가 단계를 자동화하는 데 성공했다.
수요기업은 이번 기술 개발로 연간 4000대가량의 센서 수입을 해당 제품으로 수입 대체할 수 있을 전망이다.
정지성 에스오에스랩 대표는 "스마트 팩토리 내 센서 국산화를 통해 국가 기술력을 올리는 데 기여할 수 있어 감사하다"며 "자율주행과 스마트 인프라 시장에서도 세계 최고 라이다 회사가 되도록 더 최선을 다하겠다"고 밝혔다. 임효인 기자
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임효인 기자






