인하대, 반도체 공정 이론교육 잇는 장비 실습교육 성료

인하대·명지대·국립공주대 학생, 클린룸서 주요 단위 공정 직접 체득
이론교육 성적 우수자 대상 포토리소그래피·스퍼터 등 실습 진행

반도체 공정·장비 실습교육에 참가한 학생들이 인하대 3D나노융합소자연구센터 클린룸에서 공정 실습을 진행하고 있다./사진=인하대 제공

인하대학교(총장 조명우)는 차세대반도체 컨소시엄이 주관한 '2026 반도체 공정·장비 실습교육'을 성공적으로 완료했다고 4일 밝혔다.

이번 교육은 앞서 실시된 반도체 공정 이론교육(기초·심화 과정) 평가에서 우수한 성적을 거둔 선발 인원을 대상으로 진행됐다. 컨소시엄 참여 대학인 인하대, 명지대, 국립공주대 학생 12명이 참가해 이론으로 배웠던 지식을 클린룸 현장에서 직접 구현하며 실무 역량을 다졌다.

참가 학생들은 방진복을 착용하고 클린룸에 입실해 포토리소그래피(Photolithography), 스퍼터(Sputter), 플라즈마 화학기상증착(PECVD), 식각(Etch) 등 반도체 핵심 단위 공정을 직접 수행했다. 이와 함께 박막 측정 및 공정 데이터 분석 실습을 병행해 공정 전반에 대한 이해도를 크게 높였다.

교육 마지막 날에는 조별 발표를 통해 실습 결과를 공유하고, 이론 지식과 실제 공정 결과를 비교 분석하며 학습 성과를 점검하는 시간을 가졌다.

편석준 차세대반도체 컨소시엄 단장(인하대 공학교육혁신센터장)은 "이번 실습교육은 학생들이 반도체 공정을 직접 경험하고 산업 현장에 대한 이해를 높이는 뜻깊은 과정"이라며 "학생들의 열의와 현장 수요에 발맞추어 향후 실습교육 규모와 참여 기회를 더욱 확대해 나가겠다"라고 말했다. 인천=주관철 기자