평택시, 차세대 반도체 생태계 조성 장비구축 국비사업 지원

한국나노기술원 전경

평택시(시장 정장선)는 한국 나노기술원과 협력해 산업통상자원부에서 시행한 '국가 첨단전략산업 특화단지 연대협력 지원사업'을 본격 추진한다.

이번 사업은 지역 반도체 기업의 기술력 향상과 반도체 소재·장비 실증화 기술 확보를 목표로 하며, 관내 반도체 기업들이 차세대 반도체 시장을 준비할 수 있도록 하는 기반이 될 것으로 기대된다.

시는 '23년 국가첨단전략산업 특화단지 지정 이후, 반도체 연구·실증화 기반 조성을 위해 특화단지 전용 시험장(테스트 베드) 구축 지원 사업을 지속 적으로 추진했다.

특히 하반기부터 5년간 국비 42억·현물 18억, 총 60억 원이 투입된다. 1단계 사업은 11월부터 내년 6월까지 진행되며, 이후 평가를 통해 2단계 사업으로 연계된다. 최종 사업은 2028년 12월까지 완료될 예정으로, 단계별로 사업 성과를 점검하고 이를 바탕으로 사업 방향을 조정해 나갈 계획이다.



사업은 한국나노기술원이 주관하며, 인공지능(AI)과 1nm 이하급 초미세 시스템반도체 소자·장비의 실증 시험장(테스트 베드) 구축을 목표로 한다.

시험장(테스트 베드)은 인공지능 반도체 및 초미세 시스템반도체 기술 개발을 위한 공간으로, 한국나노기술원 FAB(fabrication) 내에 원자층 증착 장비(ALD) 및 화학 기상 증착장비(CVD) 5종의 신규 반도체 공정 장비 구축과 기존 한국나노기술원이 갖춘 170여 대의 장비를 활용하게 된다.

이를 통해 시제품 제작 지원과 기업 기술 지원을 제공하며, 평택시 관내 반도체 기업들이 차세대 반도체 기술을 조기에 사업화할 수 있도록 도울 수 있을 전망이다.

시는 2단계 사업 추진 전 관내 반도체 기업체의 연구개발(R&D) 수요를 발굴해, 한국나노기술원과 협력해 시험장(테스트 베드) 장비 활용을 통한 과제 수행을 관내 기업에 우선 지원할 계획이다.

또한 시험장(테스트 베드) 과제 수행을 통해 평택 특화단지와 연계된 한국나노기술원의 분원 역할을 하게 될 특화센터 설치도 논의 중이며, 이를 통해 공공 연구기관과 지자체 간 동반 상승효과를 극대화하고, 평택시를 반도체 산업의 거점 도시로 성장시키겠다는 목표다.

시는 관내 반도체 기업의 매출 증대와 기술 경쟁력 강화라는 두 가지 성과를 동시에 달성할 것으로 기대하며, 차세대 반도체용 실증화 시설 구축과 기업 공동연구 활성화를 통해 기술력 향상뿐만 아니라, 차세대 시스템반도체 수요에 맞춘 기술 자료관(라이브러리)을 제공해 조기 사업화도 가능해질 전망이다.

시 관계자는 "이번 시험장(테스트 베드) 구축 사업이 지역 반도체 기업들의 기술력 향상과 시장 경쟁력을 강화하는 데 중요한 발판이 될 것이다"며, "반도체 특화단지를 기반으로 수도권 최대 규모의 반도체 및 나노 연구·실증화 공공기관인 한국나노기술원과의 협력체계를 구축해, 평택시가 글로벌 반도체 산업의 중심지로 자리 잡을 수 있도록 최선을 다하겠다"고 밝혔다.

한국 나노기술원은 경기 광교 테크노밸리(수원시 영통구)에 있는 반도체 관련 수도권 최대 규모의 공공 기반 시설 기관이며, 지상 16층, 지하 2층 규모로 반도체 제조시설인 FAB 동, 연구벤처 동에서 나노소자, 화합물 반도체 분야의 연구개발 및 지원 체제를 구축하고 나노기술의 국가경쟁력을 제고한 과학기술정보통신부 직할 공공기관이다. 평택=이인국 기자 kuk15@