나노종합기술원 반도체 소부장 테스트베드 역할 톡톡… 21개 품목 국산화 달성

21개 핵심품목 양산평가·국산화 성과… 각종 부가가치 창출도
9일 세종서 사업 지원성과 발표회 열고 산학연 협력 지원 모색

박흥수 나노종합기술원장이 8일 기자간담회서 주요 성과에 대해 설명하고 있다. 임효인 기자

2019년 일본발 화이트리스트 수출 규제 이후 주요 소재·부품·장비(소부장) 국산화 필요성이 커진 가운데 나노종합기술원이 국내 기업을 지원하며 잇단 국산화 성과를 내고 있다.

8일 나노종합기술원에 따르면 2021년부터 2025년까지 소부장 테스트베드 기술개발사업을 통해 21개 핵심품목에 대한 양산평가와 국산화를 이뤘다. 해당 품목들은 현재 제품 생산 단계로, 매출과 향후 3년간 기대 매출이 785억 원에 이를 것으로 예상된다.

국산화 성공으로 국내외 582억 원 투자유치와 2개사 IPO, 84명 신규 고용 창출 등 부가가치도 창출했다.

주요 성과로는 SK머터리얼퍼포먼스의 12인치 ArF 이머전 스캐너용 초미세 포토레지스트를 비롯해 솔브레인의 sub-10nm CMP용 세리라 슬러리(연마제), 엘스페스(주)의 5G AP전력 최적화용 실레콘 캐퍼시터 국산화, 시지트로닉스의 웨어러블 광혈류 측정 핵심센서 실리콘 광검출기 양산화 등이다.



나노종합기술원은 2019년 수출 규제 이후 국내 반도체 생태계 기술 자립과 국산화를 지원했다. 2021년 삼성전자와 네덜란드 반도체기업 ASML 등과의 협력을 통해 300mm 반도체 테스트베드를 당초 계획보다 1년가량 조기 가동해 소부장 기술력 향상과 국산화를 이끌었다. 이후 단순 기업 지원을 넘어 반도체 소부장 생태계 구축에 기여하고 있다.

박흥수 나노종합기술원장은 이날 열린 기자간담회에서 "2019년 수출 규제로 이전엔 주로 민간에서 자기들만의 생태계를 유지했는데, 수출 규제 이후 공장이 멈추니 생태계가 완전히 붕괴됐다는 인식아래 정부도 반도체와 소부장에 대한 지원 정책이 필요하다는 인식을 갖게 됐다"며 "그 시점에 (나노종합기술원이) 반도체 테스트베드 주관기관으로 선정돼 1년 반 만에 클린룸을 짓고 장비를 들여와 2021년 3월 본격적인 서비스를 시작했다"고 말했다.

나노종합기술원은 9일 세종 메리어트호텔에서 2021년부터 이어온 이러한 국내 기업 소부장 국산화·양상화 성과를 발표한다. 300mm 테스트베드 기술개발사업 주요 사업화 성과를 비롯해 산학연 연구자와 반도체 인프라 간 협업과 지원 방향도 모색한다.

박흥수 나노종합기술원장은 "국내 반도체와 전략기술 응용분야의 글로벌 초격차를 견인하기 위해 앞으로도 연구자 중심의 개방형 플랫폼과 양산 실증 기반을 강화해 R&D 생태계와 산업을 연결하는 혁신적 거점기관으로서 역할을 공고히 하겠다"고 말했다.임효인 기자