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| KRISS 반도체측정장비연구팀 연구진이 장비 핵심부품에 대한 성능검증 및 평가를 수행하고 있다. /사진=한국표준과학연구원 제공 |
국산 장비 활용도를 높이는 실험실을 운영하는 동시에 소부장 전문인력 양성에 나설 계획으로, 표준연이 국가적 과제인 소부장 경쟁력 강화를 이끌면서 향후 역할에 관심이 모아진다.
표준연은 13일 온라인 기자간담회를 열고 지난 2년간 소부장 연구성과와 앞으로의 구상을 설명했다. 그동안 주된 성과는 ▲원천기술 개발 ▲반도체용 가스 소재 국산화 ▲연구 장비 인력양성으로 압축된다.
먼저 표준연 반도체측정 장비팀은 2019년 수출규제 문제가 터진 이후 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 밀도측정 기술을 세계 최초로 개발했다. 이 기술은 측정 불확도가 2% 이내로, 세계 최고 수준을 자랑한다.
강상우 첨단측정 장비 연구소장은 "인공지능과 빅데이터를 활용한 새로운 측정기술 도입이 요구되는 상황"이라며 "표준연이 더욱 적극적으로 기술개발에 나설 것"이라고 말했다.
반도체용 가스 소재 국산화엔 표준연 가스분석표준그룹이 큰 역할을 했다. 국내 기업들은 생산 능력을 갖췄지만, 제품의 품질 검증에 문제를 겪어왔다. 표준연은 연구 인프라를 총동원해 완전한 국산화 성공을 도왔다.
이상일 화학바이오표준본부장은 "앞으로 반도체용 가스의 품질 평가를 순차적으로 진행하고, 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최할 예정"이라며 "가스 소재 생산과 품질향상에 기여하겠다"고 강조했다.
표준연은 이 같은 성과를 바탕으로, 현재 활용도가 낮은 연구 장비 산업과 인프라가 부족한 전문인력 양성에 뛰어든다.
이를 위해 지난 1월부터 운영 중인 '국산연구장비활용랩'을 무상으로 사용할 수 있는 서비스를 국내 중소기업과 연구자들에게 제공한다. 연구원 기술을 활용해 연구 장비 평가와 성능개선 프로그램도 연계한다.
이날 새롭게 개소한 '오픈 이노베이션랩'은 표준연의 장비를 설치해 시연할 수 있도록 지원하는 개방형 연구실로, 다양한 분야에 종사하는 개발자들의 소통 공간으로서 융합연구 촉진에 기여할 것으로 기대를 모은다.
연구 장비 기업 재직자를 대상으로 한 교육도 확대한다. 앞서 표준연은 지난 3월부터 이공계 졸업자 10명을 선발해 연구 장비 소프트웨어 개발 교육을 진행하고 있다.
박현민 원장은 "세계 최고 수준의 측정표준, 측정과학기술 역량과 인프라를 활용하겠다"며 "이를 통해 국산 장비 성능검증과 측정 연구 장비 개발, 맞춤형 인재양성에 앞장서 소부장 경쟁력 강화에 기여하겠다"고 밝혔다.
송익준 기자
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송익준 기자






